MEMS微镜结构分析_公司新闻_杏耀|杏耀官网-首页
公司新闻
您所在的位置:首页 > 新闻动态 > 公司新闻 > 正文

MEMS微镜结构分析

作者: 来源: 日期:2017-12-26 16:37:41 人气:193 评论:1

根据不同应用方式,MEMS 微镜可以分为进制或者光开关微镜和模拟微镜两

种。随着数字信号处理的不断发展,光开关微镜产品已经在数字最示和通信方面得到了广泛应用,例如TI 公司生产的DLP DigialLightProessimg) 数字光学处理芯片,就是基于数字微镜器件来完成的可视数字信息是示技术。模拟微镜也在近二十年中成为了研究热点并且取得了很大的成就,模拟微镜可以在一定范围内持续控制光束相比于开关微镜功能更加强大,这就意味着模拟微镜在设计和制造方面比开关微镜更加复杂1711目前模拟微镜已经成功应用在Microvision 公司的条码阅读器和移动投影设备上,随着近期生物医学成像技术的发展,模拟微镜在光学相干断层扫描技术(OCT) 191、光学显微镜和聚焦激光扫描显微镜方面是示出很大的潜力。

MEMS未经结构

光学MEMS传感器驱动臂是由具有不同热膨胀系数(AI和SiO2) 薄膜材料折叠成双S结构构成,采用这种结构设计的执行器一方面可以使微镜能够在垂直方向产生较大的位移即增加微镜的扫描角度,另一方面可以减少热膨胀造成驱动臂的侧移。平面反射微镜由多级折叠级联的弹性压电悬浮结构驱动,在悬浮驱动臂上有压电薄膜,及其上、下电极。在邻近驱动臂的压电薄膜的上、下电极上施加相反电压,悬浮驱动臂的偏转角度逐级增加,在不同电压下,通过制作不同的压电薄膜及弹性梁臂的厚度和长度,可实现平面微镜的不同偏转角度。

杏耀|杏耀官网-首页欢迎您的参观选购。联系热线:0519-85522201


    标签:
     
    关于我们
    联系我们
     

    版权所有   杏耀|杏耀官网-首页 公司专业生产:MEMS二维扫描微镜,HUD抬头显示,激光扫描投影系统
    创微电子机械科技专业生产MEMS二维扫描微镜,HUD抬头显示,激光扫描投影系统  电话:0519-85522201  传真:0519-85522203 地址:江苏常州武进区经济开发区兰香路8号

    友情链接:单向轴承 热油泵,滚针轴承 油缸 液压缸 单向离合器 线盘 偶氮二异丁腈 龙门铣床 三辊研磨机 单向轴承 常州驾校 新北区驾校 导热油炉 校平机