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​MEMS 微镜结构

作者: 来源: 日期:2017-11-22 15:37:40 人气:102 评论:0

MEMS 微镜是由四组折叠级联的压电复合弹性悬浮薄膜驱动臂驱动平面反射微镜构成.驱动臂结构

驱动臂是由具有不同热膨胀系数(A1和SiO2)薄膜材料折叠成双S结构构成,采用这种结构设计的执行器一方面可以使微镜能够在垂直方向产生,较大的位移即增加微镜的描角度,另- 方面可以减少热膨胀造成驱动臂的侧移。平面反射微镜由多级折叠级联的弹性压电悬浮结构驱动,在悬浮驱动臂上有压电薄膜,及其上、下电极。在邻近驱动臂的压电薄膜的上、下电极上施加相反电压,悬浮驱动臂的偏转角度逐级增加,在不同电压下,通过制作不同的压电薄膜及弹性梁臂的厚度和长度,可实现平面微镜的不同偏转角度

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